高纯气体气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。
高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体和无机高纯气体。
环氧乙烷可用作生产增塑剂、润滑剂等；
氯甲烷是重要的甲基化剂，还可作致冷剂、发泡剂等；
氯乙烷可用作烟雾剂、冷冻剂、汽油抗震剂、局部麻醉剂；
二甲醚可作喷气推进剂、制冷剂、麻醉剂；甲硫醇用于合成染料、医药、农药；
乙炔可直接用于金属切割焊接、原子吸收；乙烯基乙炔主要作为氯丁橡胶原料等。
工业上，把常温常压下呈气态的产品统称为工业气体产品。
气体产品种类繁多，大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类。
一般工业气体产销量大，但对纯度要求不高。特种气体产销量虽小，但根据不同的用途，对不同特种气体的纯度或组成、产品的包装贮运等都有严格的要求，属于高技术，高附加值产品。
通常，可以将特种气体分为三类，即高纯气体、标准校正气体和具有特定组成的混合气体。
气体产品作为现代工业重要的基础原料，应用范围十分广泛，在冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医药等部门，均使用大量的常用气体或特种气体。
高纯气体输送管路系统的质量好坏，将会直接影响到高纯气体的纯度、洁净度、干燥度。因此，对于高纯气体输送系统的设计、选材、加工制造、洁净处理及安装使用过程中的各环节严格控制都有十分重要的意义。下面我们就来简单的介绍一下高纯气体管道阀门及管件。
高纯气体输送管路阀门的选用高纯气体对系统所用阀门的严密性有十分严格的要求，目前国内洁净厂房的高纯气体管道的阀门基本都采用SS304或SS316L不锈钢材质，阀门型式有隔膜阀、波纹管阀和球阀。
波纹管阀的严密性比球阀好，在气体流过阀门时没有与外环境接触的填料，所以没有渗漏现象：隔膜阀除了严密性与波纹管阀相当以外，还具有阀体死体积小，易吹除且污染少，所以适用于对气体纯度和生产工艺要求极严格或者危险性大的气体。
1、高纯气体一般采用手工氩弧焊接和自动氩弧焊接，焊接型式通常采用承插焊和对焊，承插焊的好处在于施焊时管道的对中，方便焊接，但缺点是由于管道与承插口之间有间隙，会存在“死空间’不易将杂质吹除，影响高纯气体质量。因此对于要求极为严格的高纯气体来说，应采用对接焊连接并要求内表面无焊缝，即在施工时不得使用不锈钢焊丝，利用母材的本身融化填满焊缝。
2、为确保输送至用气设备的气体质量，高纯气体管道与用气设备之间应用不锈钢金属软管连接，不宜采用非金属软管。
3、高纯气体管道与阀门等附件连接应采用密封不易泄漏的专用接头予以连接，常用的接头方式有两种：分别为VCR（VacuumCouplingRetainer）和SWG（Swaglok），VCR采用优良的金属垫，利用纵向压力压紧，因此泄漏率极低，约为10～9Acc/s，且耐压较高，常用于气体杂质含量1.0×10-9级的高纯气输送系统，而SWG则不如VCR，耐压较低，基本上这两种接头方式的安全性足可代替焊接的方式。
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