特种气体是电子工业，特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体，该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。特种气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向，这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求，以实现气体的市场价值。
在这分离技术中，精馏技术的操作比较复杂，目前精馏的汁算还处在半经验状态，但分离的气体产品的纯度能满足市场上各种气体的纯度要求；吸附分离技术还有待于吸附剂的发展；膜分离技术是最新的分离模式，它的发展很快，已经对精馏技术和吸附分离技术造成了不同程度的威胁。总之，这三种方法各有优缺点，适应不同的场合，满足不同的要求，为特种气体的分离做出各自的贡献。
特种气体
首先，应对特气的危害性进行分析，通过本质安全设计，消除安全隐患。根据行业规范，对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和氦测漏，确保系统密闭性。钢瓶和管道阀门应选用隔膜或波纹管密封阀门。管道系统应采用焊接系统，机械接头均应置于抽风罩内。排放气体应进行安全处理。气体输送设备具有紧急切断功能。操作应遵循标准操作规程。
其次，采用监测手段，预防事故发生。设置气体泄漏侦测器，监控气体泄漏。可燃性气体应设置高温或火焰侦测器。危险气体应设置过流开关。气柜应进行负压监测，防止抽风系统的失效。侦测系统应与报警和紧急切断连锁。系统还应进行远程监控。监控系统应设置不间断电源。
工业气体
工业气体
最后，采用减灾措施，降低事故后果。设置消防喷淋系统，对气体钢瓶进行冷却降温。设置远程紧急切断按钮。抽风系统应考虑事故排风，且在不同的危险和防火分区之间设置风阀。建筑设计应充分考虑泄爆面积、防火墙、紧急出口、消防通道等。建立应急反应系统，并定期演练，最大限度减轻人员伤亡、财产损失和环境破坏。
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