高纯气体管道配管与附件材料怎么选择？
高纯度气体由管道运送，能否将高纯气体送至用气点仍坚持质量合格的关键是供气体系规划合理、管件及附件选择正确、施工安装正确和实验检测合格。高纯气体管道运送管道，要依据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同，选用相应质量的管材。比方半导体产业因其生产工艺复杂、加工精细，它不只要求有洁净的生产环境，而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严厉的要求，从微米技能进入亚微米、深亚微米（小于O.35g.m）技能，对气体中的杂质含量、水含量要求极为严厉，10 （ppm级）现已不能到达要求，需求到达10 （ppb级），甚至10一~2（ppt级），尘埃粒径要求操控到0.05-0。Olla,m。因此运送管道自身的管道资料特性适应高纯、超高纯气体的要求成为有必要。
工业氢气
2.1管道资料特性
对运送高纯气体管道而言，其影响气体质量的管道资料首要特性是气体浸透性、出气速率、吸附性、外表粗糙度和耐磨性、抗腐蚀性。
21.1气体浸透性
气体从压力（或分压力）高的一侧透过资料向压力（或分压力）低的一侧流入的现象成为气体浸透。因为空气中氧气和氮气分压力zui大、气体分子相对较小，管道资料对气体的浸透性首要表现氧气和氮气的浸透，一般对氧气的浸透测验比较多。不同资料对氧的浸透性资料大气中氧气的浸透（ppm）不锈钢管 O铜管 O聚丙烯管 1l聚四氟乙烯管 12一般钢管 203
从表看到，对于运送ppm级及更高纯度要求的气体，从气体浸透视点有必要选用不锈钢管或许钢管，如果咱们不恰当地选用了不符合要求的管道资料，那么，不管咱们采取什么净化手法，都将是无济于事的。
高纯氦
2.1.2出气速率
资料冶炼过程形成的管道资料晶间或许晶格内部存在着某些杂质，如氮、碳氢化合物等，在高纯气体运送过程中，这些杂质会缓慢地释放出来，污染高纯气体，尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率极低。
2.1.3吸附性
由于水分等杂质是极性分子，吸附性很强。橡胶、塑料或一些外表粗糙的资料极易吸附水分等杂质，铜材对水吸附性极强，运用这些资料运送高纯气体易被污染，除了运送ppm级以下的氧气会运用紫铜管外，高纯气体都不选用铜管和塑料管，气体会接触到的垫片、填料也不得选用橡胶、塑料资料（包括聚四氟乙烯）。工业H?
2.1.4外表粗糙度和耐磨性
为了确保运送的气体纯净度，要求管道资料内外表有一个极高的亮光度，这样能够防止污染粒子及湿气在管壁滞留，能够在吹扫时比较简单吹净。管材比较亮光而且耐磨，能够在气流高速冲刷下，发生的金属粒子就少，不锈钢比铜管发生粒子要少，所以不锈钢管耐磨性优于钢管。
2.1.5抗腐蚀性
微电子生产中，经常运用一些腐蚀性很强的气体，这时有必要选用耐腐蚀的管材，否则管道会被腐蚀，轻则外表发生锈斑，重则管道大面积脱落、穿孔，不但污染气体，还会发生安全事故。
2.1.6内外表处理
为了进一步改善管道资料特性，对管道内外表进行处理，一般有三种办法：酸洗钝化（AP），亮光退火（BA）和电解抛光（EP）处理。实验资料和实践都证明，通过外表处理后。管道资料的粗糙度减小。出气速率下降。外表吸附性减弱。
高纯甲烷
2.2管道资料及衔接
纯度在99.99％以内的气体管道，选用10#或20#无缝钢管（内外表镀锌或纯化处理）、铜管。镀锌管道选用螺纹衔接。总杂质含量≤10—100ppm的气体管道，选用304不锈钢亮光退火管（304BA）、304不锈钢管纯化处理（304AP）、紫铜管。管道选用焊接衔接，能够选用对接焊、承插焊或套管焊接。总杂质含量≤1-1oppm的气体管道，选用316L不锈钢亮光退火管（316LBA）、304不锈钢电抛光管（304EP）。管道衔接选用焊接，
内壁无瘢痕的对接焊，高纯氩气保护焊。总杂质含量≤lppm的高纯气体管道，有必要选用316L不锈钢电抛光管（3l6LEP）。管道衔接选用焊接，内壁无瘢痕的对接焊，高纯氩气保护焊，在专用的洁净室内进行。
2.3管道阀门及衔接
气体管道遍及选用球阀、隔膜阀和波纹管阀，依据气体纯度、有毒性和可燃爆炸性要求选择相适应的阀门。纯度在99.9999％以内的气体管道，选用304不锈钢球阀，能够选用法兰衔接，法兰垫片为软金属垫片、聚四氟乙烯垫片。总杂质含量≤10ppm的气体管道，选用隔膜阀和波纹管阀。可燃爆炸性的气体有必要选用波纹管阀。阀门选用卡套衔接，软金属整片。由于隔膜阀具有波纹管阀相同的密封性能外，还具有阀内死空间小、简单吹除洁净、污染小等杰出特色，总杂质含量≤lppm纯度要求极为严厉的管道以及危险性极大的气体管道，推荐运用隔膜阀。阀门选用VCR卡套衔接，软金属垫片。
当前位置：
热门推荐
