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氮氢混合气在半导体行业中的应用

所属分类:常见解答    发布时间: 2022-11-28    浏览次数:838


  高纯气体广泛用于电子器件生产工艺中。按工艺中高纯度气体的不同用途,可将其分为保护气、反应气和载气。用作保护气的有氢气、氮气、氧气及其混合气。在国内为获取氢气和氨气,为获得较高纯度的氢气,一般都采用电解纯水的方法制取。为减少电能消耗,降低成本,都在研制和应用各种混合气。氮氢混合气体是焊接行业常用的混合保护气种类之一,氮气稳定的性质和氢气的弱还原作用对焊缝的成形具有极好的辅助效果,并且对于气泡生产也有相当的抑制作用,在焊接领域有很好的使用成效。

  但是氮氢混合气体也具有极大的风险,主要是因为氧气的易燃易爆性质决定的,如果在氮氢混合气体中若混入氧气遇到火就会发生爆炸。所以氮氢混合气体供气必须确保供气的封闭性和混合比例,不然对焊接车间来说,就是一个极大的隐患。其中,氮氢混合气将成为电子器件生产应用中的“福音”。以应用氮氢混合气为最多。国外多采用液态氢和液态氮汽化法获得氮氢混合气,也有采用液氮分解法获得氮氢混合气的。

  

  混合气体

  最安全的使用方式是利用氮氢混合气体供气系统,进行氮氢混合气体集中供气。在供气站气源有调压稳压回火器对氮气氢气进行初步处理防护,在两路气体进入混合气体配比器之后,内部的精密混配会对两路气体按照设置参数严格控制,产生混合均匀、精度误差不超1%的高精度混合气,车间的用气终端箱内部同样安装一套减压回火防止阀,氮氢混合气体经过管道送入终端箱会进行二次安全处理,分流给周围焊枪使用,焊枪以软管和终端箱出气口连接,非常安全,迄今还没有发生过爆炸事故。

  用液氢和液氮汽化来获得氮氧混合气的方法,由于采用了液化后再汽化的工艺,故其投资和成本均较高。国外,由于生产的专业化程度高,使用单位多采用这种方法获得混合气。国内若从专业厂或大型联合企业的副产物获得液氢和液氮,其成本要比电解氢和“空分”氮获得的氢气与氯气高出几倍。由液氨分解获得的氮氧混合气,由于液氮来源不同,大多数质量较差,其中仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外,液氮多来源于化肥厂,目前,供应上较紧张,故成本也较高。

  氮氢混合气

  氮氢混合气

  氮氢混合气不仅可在生产电子器件时取代氧气用作保护气,还可广泛用于冶金、化工、机械等行业。一旦广泛推广应用,必将产生可观的经济效益和社会效益。专业配制各种标准气体、混合气体,可根据客户需求进行配制。气体报警类标准气体、电力能源类标准气体、石油化工类标准气体、环保监测类标准气体、医疗卫生类标准气体、仪器仪表类标准气体,激光类准混合气体等。


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